원래 장소:
안후이, 중국
브랜드 이름:
Wayeal
인증:
ISO, CE
모델 번호:
맞춤형
반도체 부품/씰용 진공 챔버 헬륨 누출 검출 시스템
헬륨 누출 검출 시스템 소개
전자 부품/씰의 누출 검출에 사용됩니다. 이 솔루션은 압력 헬륨 탱크, 누출 검출 탱크 및 헬륨 질량 분석기 누출 검출기로 구성됩니다.
헬륨 누출 검출 시스템 특징
1. 독특한 가스 회로 설계로 헬륨 펌핑 속도를 향상시키고, 헬륨 청소 시간을 단축하며, 헬륨 오염을 효과적으로 방지합니다.
2. 최소 감지 누출률이 낮고, 감도가 높으며, 감지 범위는 최대 레벨 12까지 가능합니다.
3. 지능형 고장 표시 및 경보 기능.
헬륨 누출 검출 시스템 구성
이 솔루션은 압력 헬륨 탱크, 누출 검출 탱크 및 헬륨 질량 분석기 누출 검출기로 구성됩니다. 전자 부품 또는 씰은 지정된 농도의 헬륨 가스가 있는 압력 헬륨 탱크에 배치됩니다.
제품 적용
반도체 산업, 부품/씰
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