Place of Origin:
Anhui, China
브랜드 이름:
Wayeal
인증:
CE
Model Number:
SFJ-231D
웨이퍼 누출 감지를 위한 드라이 펌프 헬륨 누출 감지기 SFJ-231D
헬륨 누출 감지기 SFJ-231D의 기술 파라미터
| 제품명 | 헬륨 누출 감지기 SFJ-231D |
| 최소 감지 누출률(Pa·m³/s) / 진공 모드 | 5.0*10-13 Pa·m3/s |
| 최소 감지 누출률(Pa·m³/s) / 스니퍼 모드 | 5.0*10-9 Pa·m3/s |
| 최대 허용 누출 감지 압력(Pa) | 1500 |
| 응답 시간 | <1s |
| 시작 시간 | ≤2분 |
| 감지 가능한 질량 | 2, 3, 4(H2, He3, He4) |
| 맨-머신 인터페이스 | 7" 컬러 LCD 터치 스크린 |
| 이온 소스 | 2개, 이리듐 코팅 이트륨 산화물, 자동 전환 |
| I/O 입력/출력 인터페이스 | 8개 입력 및 8개 출력 |
| 통신 인터페이스 | RS232/485, USB*2 |
| MES 인터페이스 | 표준 |
| 누출 감지 포트 | DN25KF |
| 전원 공급 장치 | AC220V, 50Hz/60Hz |
| 작동 온도 | 0~40°C |
| 언어 | 영어 |
| 누출률 표시 | 그림, 막대 차트, 곡선 차트 |
| 치수 | 645*678*965mm |
SFJ-231D 헬륨 누출 감지기의 적용 웨이퍼용
헬륨 질량 분석 누출 감지 기술에서 드라이 펌프(무유 드라이 진공 펌프)의 적용은 주로 검사 대상 장비의 작동 조건, 청결도 요구 사항 및 헬륨 질량 분석 누출 감지기(예: Wayeal SFJ-231D)의 기술 요구 사항에 따라 달라집니다.
감지 방법: 진공 스프레이 헬륨 방법(고감도 모드)
1단계: 시스템 배기 및 기준선 보정
기저 압력까지 배기: 에칭 챔버: ≤0.1Pa(드라이 펌프 + 분자 펌프 조합); CVD/PVD 챔버: ≤10⁻³ Pa(코팅 장비에 대한 더 높은 요구 사항).
누출 감지기 보정: 표준 누출 기준(예: 1×10⁻⁷ Pa·m³/s)을 사용하여 SFJ-231D를 보정하고 기기 응답 선형성을 확인합니다.
2단계: 헬륨 스프레이 감지
감지 영역: O-링 홈, 볼트 구멍, VCR/VCO 금속 씰, 용접 조인트, 세라믹 절연체, 구리 가스켓, 벨로우즈 연결.
헬륨 스프레이 작동:
핸드헬드 헬륨 스프레이 건(0.1mm 미세 조정 노즐 포함)을 감지 지점에서 3-5mm 거리에 사용합니다. 5cm/s 속도로 이동하고, 지점당 2-3초 동안 머무릅니다(SFJ-231D 응답 시간 <1초). 기류 방해를 피하기 위해 헬륨 압력을 0.2-0.3MPa로 조정합니다.
3단계: 누출 지점 결정 및 기록
누출률: 반도체 장비 허용 누출률: 일반적으로 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s(SEMI 표준당).
데이터 기록: SFJ-231D가 누출률 피크를 표시하면 형광펜으로 누출 지점을 표시합니다.
누출률 곡선 및 위치 데이터를 저장합니다(USB를 통해 내보내기).
4단계: 재검사 및 확인
확인된 누출에 대해 두 번째 헬륨 스프레이를 수행하여 반복성을 확인합니다.
주요 누출을 수리한 후, 기저 압력까지 다시 배기하고 전체 재검사를 수행합니다.
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