헬륨 누출 탐지 장치에 대한 자동 스윙싱 이리?? 코팅 유트륨 산화물 이온 소스

이온 소스의 도입

이온 소스는 헬륨 질량 분광기 누출 탐지기의 "심" (즉 질량 분광기 구성 요소) 이다.그 기능 은 기구 에 들어오는 헬륨 가스 분자를 감지 하고 측정 할 수 있는 이온 으로 변환 하는 것 이다일반적으로 높은 온도에 저항하는 특수 금속으로 구성되어 있으며 우수한 전자 방출 특성을 가지고 있으며 컴팩트한 설계가 있습니다.기기의 내부 핵심 구성 요소로 만드는.

이온 소스의 기능

이온 소스는 질량 분광기의 검출 기능을 가능하게 하는 첫 번째이자 가장 중요한 단계입니다. 이온의 핵심 역할은 이온을 "창출"하고 "형상"하는 것입니다. 구체적인 과정은 다음과 같습니다.
전자 방출:
필라멘트는 전기적으로 진열 (약 2000°C) 로 가열되어 열전자를 방출하게됩니다.
전자 가속과 격리:
가속 전압 (예를 들어, 100-200V) 은 이온화 챔버 (애노드) 와 필라멘트 (카토드) 사이에 적용되어 방출된 전자가 이온화 챔버로 가속됩니다.
동시에, 전자 빔 경로에 수직한 약한 자기장 (상시 자석에 의해 생성) 은 전자를 나선 경로로 이동하도록 강요합니다.비행 경로를 크게 증가시키고 따라서 가스 분자와 충돌할 확률을 증가시킵니다..
가스 분자 이온화:
고에너지 전자가 이온화 방에 들어가는 헬륨 (그리고 다른) 가스 분자와 충돌하면 에너지가 분자에 전달됩니다.전자를 잃게 하고 긍정적으로 충전된 헬륨 이온을 형성하게 됩니다..
이 과정은 다음과 같이 나타낼 수 있다: He + e− → He+ + 2e−
이온 추출 및 집중:
이온화 방의 반대쪽 끝에는 높은 음전압을 가진 반발 전극이 양전하 헬륨 이온을 방 밖으로 밀어냅니다.
그 후, 집중 전극 (에인젤 렌즈) 의 집합은 분산 이온을 좁은 이온 빔으로 융합하고 다음 질량 분석기에 향하도록 정확한 전기장을 사용합니다.