스테인리스 스틸 피라니 진공 측정기 헬륨 누출 감지기

피라니 진공 측정기의 도입

피라니 진공 측정기는 헬륨 질량 분광기 누출 감지기의 진공 시스템의 핵심 센서입니다.중저 진공 범위의 압력을 측정하는 데 사용됩니다 (특히 거친 펌핑 단계에서)그 핵심 감지 요소는 일반적으로 텅스텐 또는 니켈과 같은 금속으로 만들어지며 전체 가구는 스테인리스 스틸로 구성됩니다.

피라니 진공 측정기의 기능

피라니 진공 측정기는 헬륨 질량 분광기 누출 탐지기에서 "과정 모니터"와 "시스템 보호기" 역할을 수행하며 다음과 같은 특정 기능을 수행합니다.
거친 펌핑 (전선) 진공 압력 모니터링:
누출 탐지기가 시작되면 기계 펌프는 먼저 대기 압력에서 상대적으로 낮은 압력 (일반적으로 10 Pa에서 0.1 Pa 정도) 으로 진공 시스템을 비워야합니다.피라니 측정기는 이 단계에서 압력 변화를 실시간으로 모니터링하고 기기 인터페이스에 표시합니다..
고 진공 밸브 열기 (핵 보호 기능) 를 위한 잠금 신호를 제공함:
누출 탐지기의 핵심 질량 분광기 방실은 고 진공 조건 (일반적으로 0.1 Pa 이하) 에서만 작동할 수 있습니다.높은 진공 밸브 (기계 펌프와 확산 펌프/투르보 분자 펌프 연결) 가 전선 압력이 충분히 낮기 전에 열리면, 그것은 고 진공 펌프를 심각하게 손상시키고 전체 시스템을 오염시킬 수 있습니다.
피라니 측정기는 기기의 제어 시스템과 연결되어 있습니다.제어 시스템은 피라니 가이드가 전선 압력이 미리 설정된 안전 한계 이하임을 감지 할 때 고 진공 밸브가 열리고 터보 분자 펌프가 작동 할 수 있습니다.이것은 비싼 고 진공 펌프와 질량 분광계를 보호하기 위한 중요한 안전 조치입니다.
시스템 상태 및 누출 위치 진단에 도움이 됩니다:
펌핑 도중 압력 하락 속도와 최종 안정적 압력을 관찰함으로써,시스템이 큰 누출 (압이 지속적으로 떨어지지 않음) 또는 상당한 내부 배출 (압이 천천히 떨어지는 것) 을 가지고 있는지 미리 결정할 수 있습니다..
누출 테스트 중에 헬륨을 분사하면 질량 스펙트럼미터 신호 반응뿐만 아니라 피라니 측정값의 눈에 띄는 상승을 유발합니다.일반적으로 상대적으로 큰 누출의 존재를 나타냅니다..