이온 소스: 2pcs, 이리디움 코팅 유트륨 산화물, 자동 전환
통신 인터페이스: RS232/485, LAN
이온 소스: 2pcs, 이리디움 코팅 유트륨 산화물, 자동 전환
누출 감지 포트: DN25KF
이온 소스: 2pcs, 이리디움 코팅 유트륨 산화물, 자동 전환
발견할 수 있는 품질: 2, 3, 4(H2, He3, He4)
최대 허용 누출 감지 압력 (Pa): 1800Pa
검출 방법: 헬륨 질량 분석기
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